Tystar设计和制造薄膜沉积系统和设备广泛应用于半导体,MEMS,光伏和纳米科技等领域。

拥有超过30年的工程经验


灵活的空间布局

灵活的空间布局

Tystar 炉系统布局图可以根据客户洁净室规划进行设计.

兼容多种尺寸衬底

兼容多种尺寸衬底

Tytan 炉系统能够兼容2-8〃衬底,只需更换晶舟即可,而不用更换其它设备.

精准

精准

出色的工艺控制系统可以完全保证优良的薄膜均匀性和最大程度降低颗粒生成

精准

精准

享有专利的恒温腔室设计能够有效降低特气和电能消耗. 专用排风系统能够预防硅片表面颗粒的产生.

经济适用

经济适用

Tystar出色的设备性能和技术服务都有非常优惠的价格。获取更多详情的报价

可靠性证明

可靠性证明

在全球范围内安装有1600 多根炉管,Tystar公司一直致力于服务全球知名大学,科研院所和科技公司。

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