Have you ever experienced an abrupt malfunction of your CVD furnace? You are only a few days away from an important deadline but your equipment company is slow to respond to your S.O.S. Or, as the production manager, you receive a report on the unstable behavior of your CVD furnace but the equipment company says you have to wait two weeks just to get a technician to arrive at your site. Rest assured! This will never happen with Tystar's equipment. Tystar furnaces are extremely robust and reliable. Even in the event of a malfunction, our engineers will walk you through a manual operation mode so that system operations can continue until we get there. This is only one of the 33 reasons why you should buy Tystar products. Our engineering team, with over 30 years of experience, is quick to respond, highly experienced, and will never give up until the issues are completely resolved. Tystar's mission is to meet the semiconductor/MEMS industries needs with quality products and service. As the CEO of Tystar Corporation, I personally guarantee your full satisfaction as detailed in our catalog.
― Dr. Wayne H. Choe, Chief Executive Officer

高投资回报

  • TYSTAR 特有的等温系统设计
  • 与其他主要制造商相比,更具价格优势
  • 占用空间小,节省昂贵的洁净室空间
  • 高效节能,气体和电能消耗量降低50%以上

高级特性

  • 每台工艺炉管(腔室)都有它自己的控制电脑
  • 计算机可以存储多个工艺程序
  • 如发生断电,数据存储可以在计算机中保留30天
  • 温度控制采用双热电偶来控制
  • 前馈控制也具有PID调节功能
  • 滑动式的板卡抽屉和可旋转的控制台方便于维护
  • 控制器之间通信协议采用标准半导体设备通信协议SECS II
  • 具备开机诊断功能
  • 气体控制面板和炉门排风的设计都考虑到减少颗粒生成

优良售后服务

  • 收到问询或服务请求后,即使是设备已经过保修期,我们都会24小时内响应
  • 为设备提供终身持续的工艺和系统支持
  • 利用有超过30年的庞大的工艺数据库为客户提供工艺支持

可靠 & 稳定

  • 当控制器发生意外故障时,自动模式会切换到手动模式
  • 复杂,高速控制
  • 严格测试和合格的零件
  • 各炉管独立控制
  • 安全控制已经编写进EPROM
  • 如果发生设备突然断电,多步中止程序可以防止设备遭到损坏

选择Tystar的33个理由

  1. 灵活的空间布局: Tystar炉系统布局图可以根据客户洁净室规划进行设计.
  2. 自主控制的炉管: 每根单独的炉管都有它自己的控制计算机,它可以实现自主控制,不会因单独计算机的故障而影响其他炉管的使用.
  3. 自动/手动切换功能: 即使主机电脑出现故障,特气,推拉舟,温度控制仍旧可以实现手动控制.
  4. 恒温腔室: 拥有专利设计的恒温腔室使工艺控制更加出众,它能够保证优良的工艺的均匀性并且能够降低操作成本.
  5. 配备多种工艺程序: 炉管控制计算机可以存储多种工艺程序,更改工艺程序时不需再重新下载.
  6. 电池备份: 每根炉管的控制计算机将都有电池备份,发生断电30日内,它仍旧可以存储工艺程序和配置文件,不需要重新下载.
  7. 多步顺序中止程序: 当设备突然停电,多步顺序中止程序会被启动以保护产品和设备.
  8. 自动/手动显示&控制: 当计算机控制出现故障时,仍旧可以在手动模式下显示和控制气体.
  9. PID 闭环压力控制: MFS-460 气体控制器不需要外置的设置点就可以实现压力闭环控制.
  10. 温度控制单元的本地控制/诊断: 当计算机控制出现故障时,温度控制器将启动手动模式.
  11. 均匀同步升温: 温度控制单元的逻辑算法可以实现各个温区的同步升温.
  12. 工艺保证: Tystar 会从满足工艺指标的工艺配方库中选出客户所需的初始工艺程序.
  13. 占地体积小: Tystar享有专利的恒温设计可以制作出紧凑的炉系统,这样能够节省洁净室空间.
  14. 能源利用率高: Tystar 拥有专利的恒温设计可以降低气体和电能的消耗.
  15. 维护人性化: 所有Tytan 炉系统都是基于方便维护而设计的,对于那些不易接近的零部件我们设计了可拆卸的后面板,可推拉的抽屉式电子器件控制区等.其他零部件都是便于维护的.
  16. 兼容多种尺寸衬底: Tytan 炉系统能够兼容2-8英寸衬底,它只需要更换晶舟即可,不需要更改其他设备.
  17. 通过严格测试的零件: Tytan 炉系统只选用知名品牌的零件,并且这些零件都在实验室经过严格的测试.
  18. 公认的供应记录: Tystar 在全世界范围内已安装有1600根炉管,我们可以提供客户推荐信.
  19. 强大的客户网络: Tystar的客户网络包括众多知名的大学,实验室和企业,如:国家标准与技术协会(NIST),哈佛大学, 喷气推进实验室,加拿大通信研究中心(CRC), 加拿大国家研究院(NRC-NINT), 加拿大阿尔伯塔大学, 加州大学伯克利分校, 乔治亚理工学院, 斯坦福大学, 达克萨斯大学(达拉斯&阿灵顿), 加州大学洛杉矶分校, 南加州大学, 加州大学圣芭芭拉分校,普林斯顿大学及其他众多客户.
  20. 快速响应(24 小时): Tystar 会在24小时内响应所有的服务和支持需求.
  21. 终身技术支持: 对设备终身提供完整的工艺和技术支持.
  22. 专业的团队: Tystar 拥有一支共同工作超过25年的核心工程师团队.
  23. 最佳的设备性能: Tystar 对出色的设备性能和技术服务都有非常优惠的定价.
  24. 周边辅助设备支持: Tystar可以为客户提供洁净室其他辅助设备.
  25. SECS II 协议: 各个零部件之间的通信都是采用了半导体标准 SECSII协议.
  26. 多种安全互锁功能: 典型的例子如炉门必须关闭才能继续工艺,气体流量必须准确控制和恰当的混合,以及工艺前需要达到合适的压力等等.还包括为客户定制的其他安全功能.
  27. 双热电偶备份: 温控控制是通过内热电偶来控制,使用外热电偶作为备份,电流测量作为第三备份,这样避免了因热电偶故障而引起炉管内衬底生产失败.
  28. 通电诊断: 每根工艺炉管都具有通电诊断的功能.
  29. 远程访问诊断: 可从Tystar公司进行远程的快速分析和纠正.
  30. 排风清洗: Tystar和加州大学伯克利分校共同研发的用于氮化硅的排风系统,它可以降低维护成本和预防晶片成品表面烟雾的产生. .
  31. 内置转矩下降逻辑程序: Tystar推拉舟装置嵌入了转矩自动下降的逻辑程序,这样可以保证炉门能够被完全压紧密封.
  32. 降低颗粒的产生: Tystar炉系统都是基于降低粒子产生的理念而设计的.
  33. 专业的工程师团队: Tystar工程师团队在炉系统设计方面拥有业界公认的优秀记录.